In de atmosfeer, zodra de plasmavlam de pijp verlaat, wordt een hoop van lucht getrokken binnen van de omgeving. Wanneer de nevelafstand 100mm is, kan de luchtopname van meer dan 90% van het plasma rekenschap geven. In het atmosferische plasma het bespuiten procédé, is het metaalpoeder streng geoxydeerd. Bovendien kunnen sommige giftige substanties (zoals beryllium en berylliumoxyde) niet in de atmosfeer worden bespoten. om de bovengenoemde problemen op te lossen, het lagedrukplasma is bespuiten voorgesteld. Het vacuümplasma bespuiten, ook bekend als het lagedrukplasma bespuiten, is plasma die (het bespuiten technologie in een gecontroleerd milieu) bespuiten in een gesloten ruimte met een laag vacuüm onder luchtdruk.
De controleerbare milieu het bespuiten technologie neemt ons begrip van plasma dat één stap voorwaarts bespuit. Stel het spuitpistool in de nevelcabine in werking om het milieu onder volledige controle te houden. De kenmerken van de op deze wijze veroorzaakte deklaag zijn onmogelijk om in een standaard atmosferisch milieu te produceren. Het milieu kan in de waaier worden veranderd van dicht bij vacuüm (zo laag zoals mPa 50) en verhoogde druk (Pa tot 4). Het verkiezen om in de nevelcabine te bespuiten kan verontreiniging van de verf en/of het substraat verhinderen, of omdat de materiële nevel met bepaalde toegevoegde substanties moet reageren.
Het principe van het controleerbare atmosfeerplasma bespuiten is het plasmaspuitpistool te plaatsen in een verzegelde cabine en het in werking te stellen door een manipulator. Het pompen van de cabine aan een vacuümstaat is het vacuümplasma bespuiten (VPS). Wanneer de cabine in een lage drukstaat is, wordt het lage druk het vacuümplasma bespuiten (LPPS). De atmosfeer van de motorruimte kan een inerte atmosfeer of andere beschermende atmosfeer zijn. wegens de lage druk van het milieu of de controleerbare atmosfeer, wordt de stroom van de plasmavlam langer, worden de deeltjes vollediger verwarmd, wordt de oxydatie verminderd, en de deklaagkwaliteit is beduidend beter. Het kan worden gebruikt om de gedeponeerde diamantfilms en deklagen van het suprageleideroxyde voor te bereiden.
De deklaag door dit proces wordt veroorzaakt heeft vele voordelen dat. De deklaag heeft goede compactheid, sterke adhesie, niet zal verontreinigd worden, en er is geen oxyde in de metaaldeklaag. De ceramische en andere niet-metalen die deklagen in een nevelcabine worden bespoten met een niet reactieve atmosfeer wordt gevuld hebben hoge zuiverheid. Voorts is de toepassing van de hoge deklagen van het smeltpuntmetaal zoals wolfram ook zeer succesvol. Aangezien de afstand tussen het spuitpistool en het werkstuk niet zo belangrijk zoals in atmosferische het bespuiten voorwaarden is, wordt de componentencontrole eenvoudig. wegens het eenvormige profiel van de plasmapluim, kan de „brandpuntsvlekdiameter“ groot zijn, zodat kan de het bespuiten procédé tijd zeer worden verkort. Bovendien betekent het ontbreken van het atmosferische koelen van de deklaagdeeltjes dat de deklaag die proces geneest vrij langzaam is. De deklaag van het luchtdrukplasma heeft bijna geen tussenlaag „vlokken“, en de kristalstructuur van de deklaag is dicht aan dat van het gietende materiaal.
In een laag vacuümmilieu, aangezien de niet-overgebrachte straal van de plasmaboog dikker en verlengd wordt, heeft het reeds de oppervlakte van het werkstuk gecontacteerd om een geleidend kanaal te vormen, zodat kan de overdrachtboog op het worden toegevoegd. De overdrachtboog wordt gebruikt om de oppervlakte van het werkstuk te sputteren, de de laag en verontreiniging van het oppervlakteoxyde verwijderen, en kan het werkstuk aan een hogere temperatuur verwarmen, zodat de deklaag op de vlotte oppervlakte wordt gecombineerd en bij de interface verspreid, daardoor verbeterend de sterkte plakkend. De dikte van de deklaag kan ook onbeperkt zijn. Wanneer het bespuiten in een gesloten ruimte, worden de verontreiniging van lawaai en het stof aan het milieu ook dienovereenkomstig opgelost.
Het vergeleken met het atmosferische plasma bespuiten, laag-vacuümmilieu heeft bespuiten de volgende opmerkelijke eigenschappen:
1. De snelheid en de temperatuur van de plasmastraal zijn beduidend hoger dan dat van luchtdrukplasma het bespuiten. Lager de druk, hoger de straalsnelheid en de temperatuur.
2. De woonplaatstijd van het poeder in de streek op hoge temperatuur van de plasmastraal wordt verhoogd, is verwarmen meer eenvormig, en de het vliegen snelheid is sneller.
3. De het voorverwarmen temperatuur van de substraatoppervlakte kan zeer worden verhoogd; het substraat kan ook met een omgekeerde overdrachtboog worden gesputterd en worden schoongemaakt om oxyden en vuil te verwijderen, daardoor verbeterend het plakken tussen de deklaag en het substraat.
4. De poeder en substraatoppervlakte vermijdt volledig oxydatie, en diverse actieve metaal materiële deklagen kunnen worden voorbereid.
5. wegens de bovengenoemde redenen, is de sterkte plakkend van de deklaag zeer beter, wordt de poreusheid zeer verminderd, wordt de overblijvende spanning van de deklaag verminderd, en de kwaliteit van de deklaag is beduidend beter.
6. Het vacuümplasma bespuitende materiaal is ingewikkeld en duur, makend het zeer moeilijk te bevorderen en van toepassing te zijn.